Проект по созданию сети полигонов, где будет тестироваться оборудование для производства фотолитографов реализуется Министерством промышленности и торговли, Министерством науки и высшего образования, производителями полупроводников, а также профильными российскими вузами. Одна из таких площадок будет построена на базе Национального исследовательского университета «Московский институт электронной техники», где переоборудуют один из корпусов. Об этом сообщило издание «Коммерсантъ» со ссылкой на проректора вуза Алексея Переверзева.
Речь идёт о размещении на полигонах технологического, научного и контрольно-измерительного оборудования, к которому относятся литографические установки, анализаторы цепей и прочие инструменты, необходимые в производстве полупроводников. На площадке также будет предусмотрены системы для подачи особо чистых жидкостей, химии и газов. Всё это должно ускорить запуск серийного производства установок для полупроводников. Инфраструктуру намерены построить в учебно-производственном центре «Протон» после реконструкции. Источники утверждают, что запуск первого полигона состоится в 2026 году. Остальные будут построены в Московской области и Санкт-Петербурге. Стоимость каждого из них оценивается в сумму от 4,2 до 5,6 млрд рублей.
Фотолитограф позволяет получить определённый рисунок на поверхности материала, который широко используется в микроэлектронике, а также при производстве печатных плат и полупроводниковых приборов. Полигоны для тестирования оборудования есть у многих производителей микроэлектроники, например, у IBM. В России такое оборудование создают несколько предприятий. Одно из них — Зеленоградский нанотехнологический центр, который в 2021 году выиграл контракт стоимостью 5,7 млрд на создание фотолитографической установки.
