В Зеленограде покажут первый отечественный литограф

Сегодня, 17 ноября, пресс-служба «Зеленоградского нанотехнологического центра» сообщила, что уже завтра в рамках научно-технического семинара по литографии в Зеленограде вживую представят первую российскую установку совмещения и проекционного экспонирования (она же — фотолигораф). Более того, посетители мероприятия получат отличную возможность посмотреть на демонстрационный образец передовой разработки непосредственно на литографическом участке — такая возможность выпадает нечасто.

«Во время презентации участники получат уникальную возможность не просто увидеть новую разработку, а оценить её в реальной производственной среде. Смогут задать вопросы непосредственно разработчикам и инженерам, которые работали над созданием установки, а также понять технологические аспекты работы. Этот практический опыт позволит гостям составить комплексное представление о возможностях внедрения отечественного оборудования на собственных производствах», — заявила Елена Хаханина, заместитель генерального директора по коммерческой деятельности ЗНТЦ.

Стоит отметить, что данная установка была разработана в стенах «Зеленоградского нанотехнологического центра» вместе со специалистами белорусской компании «Планар» при поддержке Министерства промышленности и торговли России в рамках программы Союзного государства. И если всё пройдёт по плану, данная установка станет «фундаментом» для целого семейства локализованных литографов с поддержкой технологических процессов 130 и 90 нм, что в обозримом будущем позволит существенно снизить зависимость российского сегмента микроэлектроники от иностранных поставок.

Специалисты отмечают, что новое оборудование позволяет изготавливать кристаллы аналоговых микросхем для различного рода сенсоров, фотонных интегральных схем, а также регистраторов радиационного фона и даже аналоговых частей преобразователей сигналов датчиков физических величин. Всё это необходимо для обеспечения технологического суверенитета России — и новый литограф является важным шагом в данном направлении.