В России разрабатывают микроскоп для поиска дефектов в микроэлектронике
За стенами компании «Наноэлектроника» ведётся работа по разработке растрового электронного микроскопа (РЭМ), который необходим для выявления эффектов в разных материалов. Это могут быть как металлы и сплавы, так и полупроводники. В компании отметили, что данный шаг нацелен на снижение зависимости от иностранных аналогов. Сейчас её специалисты занимаются тестированным созданного макета.
«Накопленный задел и созданная технологическая база позволяют закрыть потребности российских производителей микроэлектроники в аналитическом оборудовании на перспективу до пяти-семи лет», — отметили в «Наноэлектронике».
Разработанный макет представляет собой устройство, включающее несколько ключевых компонентов. Во-первых, это электронно-оптическая колонна. Она нужна для формирования электронного пучка, сканирования поля исследования, а также регистрации электронов с формированием измерительных сигналов. Во-вторых, вакуумная система, предназначенная, что следует из названия, для создания вакуума. Всё это дополнено технологическим блоком и системой загрузки / выгрузки пластин. Не менее важной частью является система АСУ — она используется для обработки измерительных сигналов.
Растровый электронный микроскоп позволяет выявлять дефекты, создавая трёхмерное изображение поверхности исследуемого материала в очень высоком разрешении. На таких изображениях отчётливо видны сколы, трещины и другие механические повреждения.
«Мы видим свою нишу в замещении импортных установок начального и среднего класса, которые сегодня наиболее востребованы в университетах, отраслевых НИИ и на промышленных предприятиях для контроля качества. Мы планируем занять значительную долю этого сегмента, предлагая не просто прибор, а полный цикл технической поддержки и сервиса», — дополнили в компании.
