В России наладили производство бромистого водорода: он важен для микроэлектроники
В пресс-службе Томского государственного университета (ТГУ) сообщили, что на мощностях Инжинирингового химико-технологического центра (ИХТЦ), развёрнутого при учебном заведении, наладили производство высокочистого бромистого водорода, который играет одну из ключевых ролей для микроэлектронной промышленности.
«ИХТЦ осуществил разработку технологии и запуск производственной линии в г. Томске. За полтора года, в условиях крайне сжатых сроков, специалисты прошли путь от лабораторных исследований до полноценного производства, обеспечив выпуск высокочистого бромистого водорода (HBr) с чистотой 99,999% (5N)», — говорится в официальном сообщении.
Чтобы запустить производство, центру потребовалось получить важный документ — паспорт безопасности химической продукции информационно-аналитического центра «Безопасность веществ и материалов» ФГБУ «Институт стандартизации». Без него нельзя официально производить и продавать выпускаемый в ИХТЦ продукт.
Как пояснили в пресс-службе Томского университета, на данный момент производственная линия рассчитана на производство 650 килограммов вещества ежегодно, но при необходимости она может быть масштабирована в зависимости спроса. Однако пока и такого объёма будет достаточно, чтобы закрыть потребности отечественных предприятий и снизить зависимость от импорта.
«Чистота вещества играет ключевую роль. Присутствие даже следовых примесей может нарушить работу оборудования или остановить производственный процесс в микроэлектронике. Особым вызовом стала разработка системы аналитического контроля, ранее отсутствовавшей в России. Над этой задачей работала команда молодых специалистов, которые на базе лаборатории физико-химических методов анализа ТГУ создали и аттестовали методики определения критически важных примесей — хлороводорода, воды, металлов и пр. Применение новых подходов и мировой практики позволило обеспечить точный и надежный контроль качества продукции», — сказала руководитель проекта Ася Водянкина.
Отмечается, что запуск массового производства бромистого водорода — это не единичный случай, а ещё один шаг в проекте по развитию российской линейки сверхчистой химии.
Если говорить о самом веществе, то бромистый водород (HBr) в микроэлектронике используют как важный химический реагент, прежде всего для плазменного травления кремниевых пластин — ключевого этапа производства полупроводников и интегральных схем.
