Первый серийный российский литограф с разрешением 350 нм получит компания «Маппер», входящая в состав государственной корпорации «Ростех». Поставить оборудование планируют в декабре 2026 года. Вторую установку передадут компании «Отраслевые решения» из группы «Элемент».
Литограф разработали специалисты Зеленоградского нанотехнологического центра совместно с белорусской компанией «Планар». Оборудование предназначено для производства микросхем с топологической нормой 350 нм. Такие технологии применяются в силовой и автомобильной электронике, а также в промышленной аппаратуре.
Установка работает с пластинами диаметром до 200 мм и имеет рабочее поле 22 × 22 мм. Вместо обычной ртутной лампы используется твердотельный лазер, который отличается более высокой мощностью и энергоэффективностью. Производительность достигает 63 пластин диаметром 150 мм или 43 пластин диаметром 200 мм в час.
Базовая версия литографа стоит 392 млн рублей. Комплект с расширенным сервисом и дополнительной пятилетней гарантией обойдётся в 561 млн рублей. По данным разработчика, зарубежные аналоги стоят примерно на 40–60 % дороже.
Компания «Маппер» специализируется на производстве чувствительных элементов для МЭМС на 100-мм кремниевых пластинах. Компания располагает чистыми помещениями площадью 1500 кв. м и мощностями до 5000 пластин в год. Сейчас предприятие участвует в проекте по серийному выпуску инфракрасных матриц для БПЛА и тепловизоров.
ЗНТЦ уже работает над следующим поколением оборудования с разрешением 130 нм. Опытный образец представили в августе 2026 года, а серийные поставки таких литографов планируется начать с 2027 года.
