Неназванная государственная компания из Шанхая начала массовое производство установок для иммерсионной DUV-литографии. Об этом пишет издание The Information, которое получило сведения от двух анонимных источников. Первые поставки запланированы на 2026 год.
Среди возможных получателей оборудования источники называют SMIC, Hua Hong Semiconductor и производителя памяти ChangXin Memory Technologies. Публичных подтверждений заказов от этих компаний в исходных материалах нет.
Заявленные планы и особенности проекта:
- в 2026 году производитель рассчитывает поставить пять DUV-установок;
- на 2027 год запланирована поставка около 20 систем;
- большинство компонентов выпускают в Китае;
- часть критически важных деталей поставляют из Японии;
- задержки со стороны местных поставщиков ограничивают объёмы производства.
Название производителя The Information не раскрывает. По словам источников издания, компания нанимает специалистов по DUV-литографии из нескольких китайских организаций, включая государственный стартап Shanghai Yuliangsheng Technology. SMIC, как утверждается, тестирует иммерсионную установку Yuliangsheng с сентября 2025 года. Связь этой системы с начавшимся производством не уточняется.
Иммерсионная DUV-литография позволяет формировать элементы по 28-нм техпроцессу за один цикл экспозиции. Для достижения 7 нм требуется многократное нанесение рисунка. Такой подход повышает риск ошибок при совмещении слоёв и может снижать выход годных кристаллов.
Для сравнения, ASML планирует отгрузить около 130 иммерсионных систем в 2026 году. Финансовый директор компании Роджер Дассен также заявил о намерении увеличить выпуск такого оборудования на 30% в 2027 году. По данным источника, в 2026 году Китай приносит ASML около 20% чистой выручки против 33% в 2025 году.
Квалификация новых китайских установок для серийного производства может занять несколько месяцев. Приведённый Tom's Hardware анализ AI Futures Project при этом прогнозировал коммерческое внедрение китайской иммерсионной DUV-литографии только в середине 2030-х годов.
