Минпромторг заключил контракт с петербургской компанией «НТО» (SemiTEq) на разработку установки молекулярно-лучевой эпитаксии. Сумма соглашения составила 1,475 млрд рублей. Новое оборудование должно заменить используемые в России французские установки Riber 49 и американские Veeco GEN200, прямых отечественных аналогов которых сейчас нет.
Проект получил название «Цитадель». Установка предназначена для выращивания монокристаллических плёнок и производства гетероструктур на основе соединений индия, алюминия, галлия и арсенида. Оборудование рассчитано на работу с пластинами диаметром 76 и 100 мм.
«НТО» предстоит разработать конструкторскую документацию и изготовить опытный образец установки с групповой загрузкой подложек. Она должна одновременно обрабатывать не менее пяти пластин диаметром 76 мм или трёх пластин диаметром 100 мм.
Одним из главных требований проекта стало максимальное импортозамещение. Вакуумные камеры и насосы, молекулярные источники, запорно-вакуумная арматура, центральный контроллер и программное обеспечение должны быть российского производства. Использовать зарубежные компоненты разрешат только при наличии обоснования и письменного согласования с Минпромторгом.
Работы по проекту должны завершиться до 31 октября 2030 года. После этого российские производители должны получить оборудование для выпуска гетероструктур без зависимости от ключевых зарубежных установок.
