В России выделили миллиарды рублей для замены иностранных установок по производству чипов
По информации издания CNews, Минпромторг дополнительно выделил более 6,8 млрд рублей на создание отечественного оборудования по производству микроэлектроники. Пять соответствующих тендеров были опубликовано на портале государственных закупок.
Почти два миллиарда рублей (1,99 млрд) выделено на разработку промышленно-ориентированного кластерного комплекса нанесения слоев алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления. Согласно тексту опубликованного документа, подобная установка должна работать с технологическими процессами 180-19 нанометров с пластинами толщиной 200 мм. В итоге должен получится полноценный аналог американской установки Applied Materials 0230-70040 Endura HP PVD. Работу исполнитель должен выполнить до декабря 2030 года.
Ещё 1,61 млрд Минпромторг выделил на создание автоматизированной установки измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром 150, 200 мм. Установку должны разработать до 2029 года, а её аналогом является ARCHER 10 XT, созданная специалистами американской компании KLA TTENCOR.
Выделены средства и на создание установок печей и отжига. Чуть более 1,55 млрд рублей пойдут на разработку и изготовление опытных образцов вертикальных диффузионных печей для высокотемпературной обработки кремниевых пластин до 200 мм, обеспечения базовых технологических процессов изделий с нормами 180-90 нм. Её должны создать уже в 2029 году.
До 2028 года победители ещё одного тендера должны разработать опытный образец установки лазерного отжига для производства кремниевой силовой ЭКБ на пластинах диаметром до 200 мм. Текст тендера говорит, что установка должна работать с пластинами толщиной 150 нм.
И 368,6 млн руб. ведомство выделило на разработку установки автоматической разбраковки кристаллов с пластинами диаметром до 300 мм. Ее аналогом выступает американская Royce AP. Оборудование, предназначенное для сортировки кристаллов, например, по механическим дефектам, должно появится до декабря 2028 года.
